GAS ANALYSIS
ガス分析
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THERMAL ANALYSIS
触媒および熱分析
触媒研究者のための自動マイクロリアクターと質量分析計
THIN FILMS, PLASMA AND
SURFACE ENGINEERING
薄膜・プラズマ・表面工学
RGA、プラズマイオン分析、表面分析、SIMS終点検出
RESIDUAL GAS ANALYSIS
残留ガス分析
真空チャンバおよびプロセスにおけるガス種および蒸気種の分析
SURFACE ANALYSIS
表面分析
表面分析、UHV表面分析、SIMSおよびSNMS
SURFACE MODIFICATION
表面改質
フィルムや医療製品等への濡れ性向上などが可能なプラズマ発生装置
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