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HARDWARE

ガス分析
触媒および熱分析
薄膜・プラズマ・表面工学
残留ガス分析
表面分析
表面改質

APPLICATION

アプリケーション

GAS ANALYSIS

ガス分析

モデルQGA 定量ガス分析計
モデルQGA定量ガス分析計は、大気中ガスおよび蒸気成分を継続的かつリアルタイムに定量分析するように構成されています。インレットオプションを別途使用することで、低圧から高圧まで30 barのシステムも構成可能です。
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モデル HPR-20　R＆D
HIDEN ANALYTICAL社 モデルHPR-20 R＆D スペシャリストガス分析システムは、発生ガスと蒸気成分の高速モニタリングを目的とした卓上質量分析計です。
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モデル HPR-20 EGA
HIDEN ANALYTICAL社モデルHPR-20 EGAガス分析システムは、熱重量分析計（TGA）からの発生ガスおよび蒸気成分のリアルタイム分析を目的として構成されています。
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TGA-MS用インレット
HIDEN ANALYTICAL社のキャピラリーインレット付ガス分析計には、一般的なTGA装置のための高速レスポンス、低デッドボリューム用のインターフェースが装備されています。
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モデル QIC BioStream
Hiden QIC BioStreamは、0.1 PPM〜100％の濃度範囲で発生ガスと蒸気成分のリアルタイム検出を可能にするマルチストリームガス組成分析システムです。 サンプル流量は毎分4ml〜10Lのガスフローで成分分析が可能です。当システムは、発酵プロセスのオフガス分析、バイオガスプロセスモニタリング、バイオ酵素生産など、さまざまな研究用途で使用頂けます。
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モデル QICマルチストリーム
モデル QIC MultiStreamは、マルチストリームガス成分分析システムです。毎分4ml〜10Lの流量でガスフローを分析することができます。このシステムは、マルチコンポーネント、マルチストリームガス分析が必要な環境モニタリングなどの使用例に適しています。
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モデル HPR-20 TMS
Hiden HPR-20 QIC TMS Transient MSは、大気圧付近でのガス成分と蒸気成分の高速反応ガス分析に適しています。0.9mのシリカクオーツキャピラリーインターフェースでサンプル採取を行うことで、分析対象ガスを素早く交換し、分析することが可能です。
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モデル HPR-40 DSA – MIMS
モデルHPR-40 DSA Membrane Inlet Mass Spectrometer（MIMS）は、溶解/発生ガスのリアルタイム定量分析とモニタリングのためのコンパクトなベンチトップガス分析システムです。 HPR-40 DSAには、差動電気化学質量分析用のさまざまな「DEMS」セル検出計が用意されています。DEMSセル検出計はナノポーラス透過膜を利用し、ガス成分、揮発性電気化学反応物、反応中間体および発生ガスのリアルタイム現場解析を高速・高感度で行う装置です。
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モデル HPR-60 MBMS
モデル HPR-60 分子ビーム質量分析計は、大気プラズマおよび反応ガス中間反応体向け、小スキマー型インレット質量分析計です。
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モデル HPR-70
モデル HPR-70 小型の卓上バッチインレットガス分析システムは、分離型ガスサンプルの分析に適しています。
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CATALYSIS AND THERMAL ANALYSIS

触媒および熱分析

モデルCATLAB-PCS
モデルCATLAB-PCSは、触媒特性と1000℃までの熱反応研究を目的とした、マイクロリアクター複合質量分析計システムです。
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モデルCATLAB-FB
CATLAB-FBは反応炉と質量分析計を組み合わせたシステムで、1000℃までの触媒コア試料を分析することができます。当システムではマルチストリームガスと蒸気フローの制御によって、フィードガスとダウンストリームガスの両方の質量スペクトル分析を実施します。
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モデルSpaciMS
モデルSpaci-MSは水平軸と直角軸にガス種判定と温度分布を分析表示します。その際、高空間・高時間分解能でサンプル流量とその温度に関係なく分析できます。16チャンネルのマルチインレットはHIDEN ANALYTICAL社の高速トランジェントMSに接続されており、自動で温度分布とガス種分布を高速マッピングします。
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モデル TPD Workstation
モデル TPD Workstationは、感度と時間分解能のためにパルスイオンカウント検出器を備えた高精度トリプルフィルターアナライザーに加熱サンプルステージを接続したマルチポートUHVチャンバーを備えています。
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モデルHPR-20 QIC TMS
Hiden HPR-20 QIC TMS Transient MSは、大気に近い圧力で気体と蒸気の高速事象ガス分析用に構成されています。高速ガス切り替え実験に最適なMSは、Hiden QICクォーツライニング0.9 mサンプリングインターフェースを備えています。
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TGA-MS
Hidenのキャピラリー入口ガス分析計には、最も一般的なTGA装置のための高速レスポンス、低デッドボリュームのインターフェースが用意されています。
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3F-PIC
Hidenの3F PICシリーズ四重極は、UHV TPDアプリケーションで最高の感度と時間分解能を実現するデジタル検出器を備えた高精度トリプルフィルターアナライザです。
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THIN FILMS, PLASMA AND SURFACE ENGINEERING

薄膜・プラズマ・表面工学

モデルHPR-30
モデルHPR-30は、真空プロセスおよび真空診断のガスおよび蒸気の分析用に構成された残留ガス分析計です。このシステムは、CVD、プラズマエッチング、MOCVD、プロセスガス純度、およびプロセス中の汚染物質モニタリングなどの個々のプロセスアプリケーションに対して構成可能です。さらに、大気圧近傍まで測定できるオプションもそろえております。
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モデル EQP
モデル EQPシステムは、分析用のプラズマイオン、中性粒子およびラジカルのための質量分析計とエネルギー分析器を組み合わせたものです。EQP機器は、正イオンおよび負イオン分析のための操作モードを含む。閾値電離および電子付着イオン化モードは、電気陽性および陰性プラズマラジカルの両方の分析のための詳細な中性ラジカル研究に利用可能です。 モデルEQPシステムは、オプションで、50ナノ秒までの時間分解能を備えた統合型MCS – マルチチャネルスカラーデータ収集で利用可能になり、パルスプラズマアプリケーションでの高速データ収集が可能になりました。
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モデルPSM
HIDEN ANALYTICAL社　プラズマプローブ　モデルPSMは、重要なプラズマパラメータを測定し、プラズマ反応化学に関する詳細な情報を取得可能です。
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RESIDUAL GAS ANALYSIS

残留ガス分析

残留ガス分析
定常的、高速、広ダイナミックレンジの残留ガス分析
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RGAシリーズ
すべてのHIDEN ANALYTICAL社 残留ガス分析計は、アプリケーションテストと校正を行い、最高品質の性能を提供しております。
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SURFACE ANALYSIS

表面分析

モデルCompact SIMS
HIDEN ANALYTICAL社 モデルCompact SIMSは、層構造、表面汚染、不純物の迅速かつ容易なキャラクタリゼーションを目的として設計されており、正イオンの敏感な検出が酸素プライマリーイオンビームによって補助され、周期表全体にわたって同位体感度を提供します。提供するイオンソースの形状は、ナノメートルの深さ分解能および表面近傍分析に理想的です。
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SURFACE MODIFICATION
表面改質
表面改質
Henniker Scientific社プラズマ処理システムとプロセスは、生産と研究において重要な役割を果たす多くの主要な組織から信頼されています。 低コストの実験用プラズマクリーナーから、学界や産業界向けのカスタムプラズマ処理システムまで、幅広い製品を提供しています。
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APPLICATION

アプリケーション

ナノスケール材料分析用FIB-SIMS
既存のFIBシステムに高性能SIMS機能を追加
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モデルHPR-30
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モデルPSM
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SIMS表面分析とSNMS表面分析
プラズマ分析、プラズマイオンアナライザおよびラングミュアプローブ
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プラズマのキャラクタリゼーション
プラズマ分析、プラズマイオンアナライザおよびラングミュアプローブ
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残留ガス分析
定常的、高速、広ダイナミックレンジの残留ガス分析
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ガス分析
ガスおよび蒸気のリアルタイム分析用
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関連する情報

導入の流れ

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修理・保守サービス

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