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プラズマのキャラクタリゼーション

プラズマ分析、プラズマイオンアナライザおよびラングミュアプローブ
モデルEQPエネルギーアナライザー付四重極質量分析計
モデルPSM正イオンのエネルギーアナライザー付四重極質量分析計
モデルESPionラングミュアプローブ
モデルHPR-60大気圧プラズマ用ラジカル、中性粒子、イオンエネルギー測定