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モデルPSM

HIDEN ANALYTICAL社 プラズマプローブ モデルPSMは、重要なプラズマパラメータを測定し、プラズマ反応化学に関する詳細な情報を取得可能です。
質量範囲300または510 m/z
イオン分析正イオン
イオン分析 – オプション負イオン
ニュートラル分析中立および中性ラジカル分析
プラズマ圧力最大0.5mbar
エネルギー解析範囲100eV