| 質量範囲 | 50,300,510amu |
| 最小検出濃度 | ppm |
| サンプル表面から放出されるイオンの分析 | 正イオンのみ(負イオン測定はオプション) |
| SNMS - セカンダリニュートラルマススペクトロメトリー | はい - オプション |
| 深さ分解能 | 3nm |
| 最小検出濃度 - Si中のホウ素 | 1E 17 atom *cm -3 |
| 最小検出濃度 - SNMS | 1% |
| UHVマルチポートチャンバ | いいえ、拡張不可 |
| サンプルステージおよび移動 | マニュアル回転式 |

| 質量範囲 | 50,300,510amu |
| 最小検出濃度 | ppm |
| サンプル表面から放出されるイオンの分析 | 正イオンのみ(負イオン測定はオプション) |
| SNMS - セカンダリニュートラルマススペクトロメトリー | はい - オプション |
| 深さ分解能 | 3nm |
| 最小検出濃度 - Si中のホウ素 | 1E 17 atom *cm -3 |
| 最小検出濃度 - SNMS | 1% |
| UHVマルチポートチャンバ | いいえ、拡張不可 |
| サンプルステージおよび移動 | マニュアル回転式 |