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モデルCompact SIMS

HIDEN ANALYTICAL社 モデルCompact SIMSは、層構造、表面汚染、不純物の迅速かつ容易なキャラクタリゼーションを目的として設計されており、正イオンの敏感な検出が酸素プライマリーイオンビームによって補助され、周期表全体にわたって同位体感度を提供します。提供するイオンソースの形状は、ナノメートルの深さ分解能および表面近傍分析に理想的です。
質量範囲50,300,510amu
最小検出濃度ppm
サンプル表面から放出されるイオンの分析正イオンのみ(負イオン測定はオプション)
SNMS – セカンダリニュートラルマススペクトロメトリーはい – オプション
深さ分解能3nm
最小検出濃度 – Si中のホウ素1E 17 atom *cm -3
最小検出濃度 – SNMS1%
UHVマルチポートチャンバいいえ、拡張不可
サンプルステージおよび移動マニュアル回転式