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モデルHPR-30

モデルHPR-30は、真空プロセスおよび真空診断のガスおよび蒸気の分析用に構成された残留ガス分析計です。このシステムは、CVD、プラズマエッチング、MOCVD、プロセスガス純度、およびプロセス中の汚染物質モニタリングなどの個々のプロセスアプリケーションに対して構成可能です。さらに、大気圧近傍まで測定できるオプションもそろえております。
質量範囲200、300、または510 m/z
真空プロセスガス組成の測定可能
汚染の測定とリーク検出可能
最小検出濃度5 PPB
サンプルインレット圧力(標準)0.1 〜500Pa
サンプルインレット圧力(オプション)<1E -2 Pa or 大気圧
高速測定速度最大500回/秒の測定