| 質量範囲 | 200、300、または510 m/z |
| 真空プロセスガス組成の測定 | 可能 |
| 汚染の測定とリーク検出 | 可能 |
| 最小検出濃度 | 5 PPB |
| サンプルインレット圧力(標準) | 0.1 〜500Pa |
| サンプルインレット圧力(オプション) | <1E -2 Pa or 大気圧 |
| 高速測定速度 | 最大500回/秒の測定 |

| 質量範囲 | 200、300、または510 m/z |
| 真空プロセスガス組成の測定 | 可能 |
| 汚染の測定とリーク検出 | 可能 |
| 最小検出濃度 | 5 PPB |
| サンプルインレット圧力(標準) | 0.1 〜500Pa |
| サンプルインレット圧力(オプション) | <1E -2 Pa or 大気圧 |
| 高速測定速度 | 最大500回/秒の測定 |