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モデル HPR-30シリーズ

HPR-30-Multi-RGA-Cart
モデルHPR-30シリーズは、真空プロセスにおけるガスや蒸気の分析、および高真空から大気圧までのサンプリング機能を備えた真空診断用に構成された残留ガス分析システムです。本システムは、CVD、ALD、プラズマエッチング、MOCVD、プロセスガスの純度測定、およびプロセス中の汚染物質モニタリングなど、個々のプロセス用途に合わせて完全にカスタマイズ可能です。
質量範囲200、300、または510 m/z
真空プロセスガス組成の測定可能
汚染の測定とリーク検出可能
最小検出濃度5 PPB
サンプルインレット圧力(標準)0.1 〜500Pa
サンプルインレット圧力(オプション)<1E -2 Pa or 大気圧
高速測定速度最大500回/秒の測定