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モデル EQP

モデル EQPシステムは、分析用のプラズマイオン、中性粒子およびラジカルのための質量分析計とエネルギー分析器を組み合わせたものです。EQP機器は、正イオンおよび負イオン分析のための操作モードを含む。閾値電離および電子付着イオン化モードは、電気陽性および陰性プラズマラジカルの両方の分析のための詳細な中性ラジカル研究に利用可能です。 モデルEQPシステムは、オプションで、50ナノ秒までの時間分解能を備えた統合型MCS - マルチチャネルスカラーデータ収集で利用可能になり、パルスプラズマアプリケーションでの高速データ収集が可能になりました。
質量範囲300、510、1000 または 2500m/z
イオン分析正負イオン
ガス分析中性粒子とラジカル
プラズマ圧力(標準)最大0.5mbar
プラズマ圧力(オプション)最大2mbar、100mbarおよび大気圧
サンプリングオプションDCおよびRFバイアスされたサンプリング電極
イオンエネルギー解析範囲±100eV または ±1000eV