| 質量範囲 | 50,100,200,300,510amu |
| 最小検出濃度（HAL） | 5×10 -12 Pa |
| 最小検出濃度（3F） | 2×10 -12 Pa |
| 最小検出濃度（3F-PIC） | 2×10 -13 Pa |
| イオン源 | 電子衝撃イオン源（形状は数種類から選択可能） |
| イオン源制御 | 可能 |
| 電子放出（エミッションカレント） | ソフトウェア可変1μA〜2mA |
| 電子エネルギー | ソフトウェア変数4V〜150eV |
| イオンエネルギー | ソフトウェア変数0V〜10eV |
| 検出器 | ファラデーカップと二次電子増倍管（チャンネルトロン） |
| 取付フランジ（HAL） | DN-35-CF（ICF70） |
| 取付フランジ（3F – トリプルフィルター） | DN-63-CF（ICF114） |
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