質量範囲 | 300、510、1000 または 2500m/z |
イオン分析 | 正負イオン |
ガス分析 | 中性粒子とラジカル |
プラズマ圧力(標準) | 最大0.5mbar |
プラズマ圧力(オプション) | 最大2mbar、100mbarおよび大気圧 |
サンプリングオプション | DCおよびRFバイアスされたサンプリング電極 |
イオンエネルギー解析範囲 | ±100eV または ±1000eV |
質量範囲 | 300、510、1000 または 2500m/z |
イオン分析 | 正負イオン |
ガス分析 | 中性粒子とラジカル |
プラズマ圧力(標準) | 最大0.5mbar |
プラズマ圧力(オプション) | 最大2mbar、100mbarおよび大気圧 |
サンプリングオプション | DCおよびRFバイアスされたサンプリング電極 |
イオンエネルギー解析範囲 | ±100eV または ±1000eV |