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モデルHMT 四重極質量分析計は、差動排気装置を必要とせずに最大5×10
-3
mbarの圧力下で動作可能な、独自のデュアルモードRGAシステムです。この圧力下での動作は、特別に設計されたイオン源と四極子フィルターの組み合わせ、およびイオン存在比の非線形性を補正するソフトウェアによって実現されています。この独自の高圧力仕様により、HMTはプロセスモニタリング用途に最適です。
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