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モデル IMP-EPD

IMP
モデルIMP-EPDは、イオンビームエッチング、いわゆるイオンミリングプロセスから発生する二次イオンを直接検知し、エンドポイントを検出する機能を持たせた、二次イオン質量分析計です。差動排気方式を採用しています。本システムには、最適なプロセス制御のために開発されたプロセス固有のアルゴリズムを搭載した統合ソフトウェアが含まれています。