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モデル XBS

XBS
モデル分子ビーム源では、再現性のある高品質な薄膜成長を実現するために、正確な制御が求められます。ハイデンのXBS(クロスビームソース)システムは、複数のビーム源をその場でモニタリングし、リアルタイムの信号出力を通じて成膜を精密に制御します。ハイデンのXBSは、分子ビーム質量分析法において活用される優れたツールです。