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残留ガス分析装置用のイオン源オプション

RGA-Sources
Hiden社は、圧力、試料形状、ガス化学特性に合わせて残留ガス分析装置を構成できるよう、交換可能な電子衝撃型および用途特化型のイオン源を提供しています。これらのオプションは、日常的な残留ガス分析(RGA)作業、UHV脱着、高圧サンプリング、分子ビーム、反応性ガス、および低アウトガス測定に対応しています。