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モデル 3Fシリーズ トリプルフィルター型四重極質量分析計

3F-シリーズ
モデル3Fおよび1000シリーズは、残留ガス分析やプロセス用途向けの、高精度なトリプルフィルター式四重極質量分析計です。前段および後段のフィルターにより、不要なイオン汚染を低減し、低濃度不純物分析における存在比感度の向上、質量分解能の向上、および高い質量透過率を実現します。