質量範囲 | 200、300、または510 m/z |
真空プロセスガス組成の測定 | 可能 |
汚染の測定とリーク検出 | 可能 |
最小検出濃度 | 5 PPB |
サンプルインレット圧力(標準) | 0.1 〜500Pa |
サンプルインレット圧力(オプション) | <1E -2 Pa or 大気圧 |
高速測定速度 | 最大500回/秒の測定 |
質量範囲 | 200、300、または510 m/z |
真空プロセスガス組成の測定 | 可能 |
汚染の測定とリーク検出 | 可能 |
最小検出濃度 | 5 PPB |
サンプルインレット圧力(標準) | 0.1 〜500Pa |
サンプルインレット圧力(オプション) | <1E -2 Pa or 大気圧 |
高速測定速度 | 最大500回/秒の測定 |