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モデル MAXIM

SIMS
Hiden社のMAXIM 4重SIMS分析装置は、正・負イオン、静的・動的および中性イオン分析アプリケーションに対応した最先端の二次イオン質量分析計です。 MAXIM分析システムには、プローブ軸に対して30°の角度でイオンを受け入れる内蔵エネルギーフィルター、高透過率のSIMS抽出光学系、3重質量フィルター、パルスイオン計数検出器、および制御電子機器が含まれています。